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BTF-1200C-S-SL-CVD 非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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     安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

     公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍,累計獲得patent200余項。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實驗室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
     公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,市場營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
     連年來,公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨角獸500強”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項榮譽。










高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 升華儀,流化床,半導(dǎo)體前驅(qū)體制備設(shè)備,陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

主要特點

  非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)由電動滑軌式管式爐、三路供氣系統(tǒng)、真空及過濾系統(tǒng)、前驅(qū)體鼓泡裝置,氣體預(yù)熱裝置、軟件控制等部分組成。適用于前驅(qū)體為非氣態(tài)源,如固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體,前驅(qū)體灌溫度可達400℃,且溫度獨立可調(diào),固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體在一定溫度下蒸發(fā)后通過惰性氣體帶入反應(yīng)區(qū)域參與的一些CVD反應(yīng)。

非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備結(jié)構(gòu)

1.    左右兩端進氣抽氣可相互切換;提高基體上涂層的均勻性;

2.    爐體底部在電機帶動下可在導(dǎo)軌上水平移動,移動速度根據(jù)工藝需要可設(shè)置?! ?/span>

3.    采用觸摸屏和工控電腦自動控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,參數(shù)自動記錄保持。

4.    供氣系統(tǒng)可以按照客戶的實驗需求配置幾路質(zhì)量流量計,流量計的量程可選,真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。

技術(shù)參數(shù):

加熱系統(tǒng)

Most高溫度

1200℃(1 hour)

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ40*800mm(爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。)

爐膛材料

高純氧化鋁纖維

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

?30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,

‚操作界面為10”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序

加熱長度

150mm

恒溫長度

70mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

220V,50Hz

額定功率

2KW

 

三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型

Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

100sccm,100sccm、200sccm;(可根據(jù)用戶要求定制

準(zhǔn)確度

±1.5%

線性

±0.5~1.5%

重復(fù)精度

±0.2%

響應(yīng)時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

Most大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

真空機組

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

10m³/h

極限真空

5X10-1Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進排氣口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連



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