RHE-L 低溫蒸發(fā)源
- 公司名稱 中科艾科米(北京)科技有限公司
- 品牌 ACME/美國
- 型號 RHE-L
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2020/4/9 19:36:58
- 訪問次數(shù) 799
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超高真空變溫掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)(UHV-VT STM SYSTEM)、原子層沉積系統(tǒng)(ALD)、光學(xué)兼容超高真空低溫掃描探針顯微鏡-分子束外延聯(lián)合系統(tǒng)(UHV-LT-SPM-MBE SYSTEM)、高通量連續(xù)組分外延薄膜制備及原位局域電子態(tài)表征系統(tǒng)(Combi-LMBE-STM)等成套系統(tǒng)以及電阻式加熱蒸發(fā)源(K-cell)及控制器、電子束加熱蒸發(fā)源(E-beam)及控制器、堿金屬蒸發(fā)源、溫度控制器(TC)、針尖腐蝕儀、SPM掃描探頭等部件及電控單元。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子/電池 | 
|---|
低溫蒸發(fā)源
產(chǎn)品系列:
RHE-L
主要特點:
| 超高真空兼容 | 
| 高效的水冷設(shè)計 | 
| 低溫下精確控溫 | 
| 坩堝容積大可達(dá)155cc | 
低溫蒸發(fā)源主要應(yīng)用:
MBE,表面科學(xué),薄膜生長,樣品制備以及II-VI半導(dǎo)體薄膜研究和太陽能領(lǐng)域
技術(shù)參數(shù):

| 安裝法蘭 | DN63CF (O.D. 4.5'' ), DN100CF (O.D. 6.0'' ) | 
| 腔內(nèi)長度 | 250~580mm 可選 | 
| 腔內(nèi)直徑 | 56mm, 95mm | 
| 工作溫度 | zui高400℃ | 
| 加熱方式 | 鉭絲加熱 | 
| 溫度穩(wěn)定性 | ±0.1℃ | 
| 溫度測量 | K型熱偶 | 
| 烘烤溫度 | 250℃ | 
| 源數(shù)量 | 1 | 
| 坩堝材料 | 石英, 氧化鋁, 熱解氮化硼, 可定制其他材料 | 
| 坩堝容積 | 60cc, 155cc | 
| 冷卻方式 | 一體式水冷 | 
| 擋板 | 無 | 

 
			 
			 
			 
 
 
 

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