特點
◆ 掃描電鏡臺式設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊。采用防振底盤，有效防止振動引起的畫質(zhì)問題
◆  操作方便，簡單易學(xué)，具有任何人都可以簡便使用的自動調(diào)節(jié)功能
◆ 性能價格比高
◆ 對環(huán)境、電源要求低
◆ 景深大，立體結(jié)構(gòu)觀察。圖象質(zhì)量高，能獲得高分辨率和高襯度的圖像
◆ 抽真空速度快，開機及換樣抽真空都可在三分鐘完成。
◆ 可整體移動儀器，方便使用
◆ 應(yīng)用領(lǐng)域范圍寬
技術(shù)指標
1．掃描電鏡放大倍數(shù)范圍大（10X～ 15000X Digital Zoom:2x,4x，數(shù)字變焦120,000X）
2．分辯率：15nm
3．加速電壓： 1kv – 15kv
4．探測器： SEI（二次電子探測器），BEI（背散射電子探測器）/EDS(能譜儀)
5．圖像大?。?nbsp;4096×4096
6．圖像格式： JPG，TIFF，BMP，PNG
7．數(shù)據(jù)顯示： Micron Bar, Magnificaiton, Date, Kv
8．電壓： 110v或220v
9．自動操作，自動加高壓、調(diào)燈絲電流等
10．具有自動圖像調(diào)整功能（自動亮度/對比度，自動聚焦，自動消像散等）
11．移動范圍寬（X:20mm, Y:20mm, R:360, 高度可調(diào)）
12．腔室盡寸大（zei大樣品直徑為75 mm，樣品高度為15 mm，但通過定制樣品座可觀察更大樣品高度）
13．圖像儲存像素大（640×480, 1280×960, 2560×1920）
14．全自動抽真空(渦輪分子泵+機械泵)，無需冷卻循環(huán)水
15．預(yù)對中燈絲
16．可選性強，可選配能譜儀EDS/波譜儀WDS
17．具有二次電子探測器(與通常大電鏡使用的探測器同，圖像質(zhì)量好)，背散射電子探測器可選
18．NanoAnalysis軟件可選模塊，功能強大：
u 圖像獲取模塊
圖像處理
圖像分析
圖像操作
圖像過濾
粒子計數(shù)&篩分
熱成像
圖像測量/標注
易于生成報告
自動保存
u 元素分布圖
標準元素分布圖
超快繪圖
線掃描
點模式&多點
自動分析（每個像素的圖譜）
ColorSEM-快速成像
重點成像
熱成像
容易生成報告
自動保存
u 高級特征
  化學(xué)鑒定
  痕量靈敏度分析
  關(guān)鍵測量
  3D成像
  3D測量
  自動分析（每個像素的譜圖）
  遠程會議
  立體成像
  同步分析