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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>氣體流量計>流量計 液體氣體混合配比器

流量計 液體氣體混合配比器

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 流量計
  • 產(chǎn)地 鄭州
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/6/19 15:35:26
  • 訪問次數(shù) 2316

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料創(chuàng)新型企業(yè),如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內(nèi)大多數(shù)實驗室 及*校,科探儀器已經(jīng)成為老師 同學(xué)歡迎和信任的品牌之一

公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)社會為宗旨,積極設(shè)計開發(fā)新型材料制備設(shè)備,奉獻于教育和科學(xué),經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累,擁有熱工,制造,控制相關(guān)技術(shù)10余項,為化學(xué),物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過和院校老師 同學(xué)強強聯(lián)合,形成了有效的信息,技術(shù)交流平臺,為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持!。

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實驗電爐、CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等,主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。

公司與國內(nèi)高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開放實驗室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴謹?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。










實驗室設(shè)備 真空設(shè)備 儀器儀表 電子元器件 五金交電實驗室設(shè)備安裝

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

    液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量;質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。

   它們在半導(dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括; 電子工藝設(shè)備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

概覽

   液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進行 精密控制和測量。它們在半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 集成電路工 藝設(shè)備,如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設(shè)備、 光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星電子生產(chǎn)的數(shù)字型產(chǎn)品,為氣體質(zhì)量流量的控制、 測量提供了高準確度及高可靠性。該型產(chǎn)品可同時支持數(shù)字信號,0~5V 模擬信號,4~20mA 或 0~20mA 模擬信號,可以使用雙電源(±8~±16 VDC)或單電源(+14~+28 VDC)。支持自動故障報警,多氣體多量程等功能。標(biāo)準開放的通訊協(xié)議為客戶自行開發(fā)控制、采集軟件 提供便利。提供功能強大的免費客戶端上位機軟件 Digital MFC。CS200-C 與 CS200-D 產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標(biāo)準的要求。

CS200-A,C,D MFC 默認配置為:
MAC 地址:32;
RS485 通信波特率:19200;
控制方式:0~5V 電壓控制。

更多細節(jié)請參考產(chǎn)品附帶光盤中的“CS 系列 MFC 通訊協(xié)議”。


標(biāo)定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用戶的要求來標(biāo)定。如果用戶沒有說明工作情況等信息,

則按照標(biāo)準狀況標(biāo)定。

1、標(biāo)準狀況

出口壓力:大氣壓
氣體質(zhì)量流量通常用標(biāo)準狀態(tài)下的體積流量來表示,質(zhì)量流量單位為:

SCCM:標(biāo)準毫升/分鐘
SLM:標(biāo)準升/分鐘
標(biāo)準狀態(tài):溫度 0°C (273.15K)
                 氣壓:101325Pa (760mm Hg)

在標(biāo)準狀態(tài)下,氣體的密度是一個常數(shù),該密度乘以標(biāo)準狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù),所以標(biāo)準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
MFC/MFM 的標(biāo)準安裝位置為水平安裝,同時為客戶提供垂直(進氣口向上或向下)、平躺及其它位置的安裝,為保證的測量精度,用戶購買時應(yīng)該說明設(shè)備的安裝方式。

2、制造環(huán)境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在溫度為 22±2°C的 100 級的凈化間內(nèi)組裝,1000 級凈化環(huán)境下標(biāo)定及包裝。

3、精度調(diào)節(jié)
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應(yīng)的標(biāo)定臺上烤機 24 小時,然后進行精確標(biāo)定。精度、動態(tài)響應(yīng)、壓力變化的穩(wěn)定性等指標(biāo)須經(jīng)過兩次檢查,合格后方可出廠





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