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TESCAN MIRA3 掃描電子顯微鏡

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上海永傲精密儀器有限公司是系統(tǒng)集成商,我們的團(tuán)隊(duì)由多年從事清潔度測試儀,業(yè)納計(jì)量儀器 ,業(yè)納工業(yè)顯微相機(jī),光學(xué)軸類測量機(jī),奧林巴斯金相顯微鏡,科研相機(jī),電動位移臺集成的設(shè)計(jì),自主研發(fā),服務(wù),銷售人員組成,并向國內(nèi)外各大汽車零部件生產(chǎn)商提供優(yōu)質(zhì)服務(wù),向用戶提供清潔度工業(yè)檢測領(lǐng)域個性化,定制化的清潔度檢測系統(tǒng)方案。

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價格區(qū)間 300萬-400萬 儀器種類 場發(fā)射
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),鋼鐵/金屬,公安/司法,綜合

MIRA3 高束流下優(yōu)異的分辨率非常有利于 EDS、WDS 及 EBSD 成分分析。借助優(yōu)化的電子束減速技術(shù) ( BDT ) 使得低著陸電壓下的成像能力進(jìn)一步增強(qiáng)。MIRA3 有 LM、XM 和 GM三種優(yōu)化幾何設(shè)計(jì)的樣品室尺寸可供選擇,同時可選擇高/低真空操作環(huán)境。 
 

突出特點(diǎn)

  • 配置高亮度肖特基電子槍,實(shí)現(xiàn)高分辨率,大束流及低噪聲成像;
  • *的中間透鏡(IML)技術(shù)和 Wide Field Optics™光路相配合,可提供多種工作和顯示模式,如大視野模式和景深模式;
  • 實(shí)時電子束追蹤技術(shù)(In-Flight Beam Tracing™)可實(shí)現(xiàn)性能及電子束的實(shí)時優(yōu)化,同時可直接控制電子束及束流的連續(xù)調(diào)節(jié)。電子束減速技術(shù) ( BDT ) 在低電壓下具有優(yōu)異分辨率;
  • 通過強(qiáng)大的 In-Beam 探測器可實(shí)現(xiàn)短工作距離下的優(yōu)異成像(選配);
  • 所有的 MIRA3 倉室均配備優(yōu)異的 5 軸全自動優(yōu)中心樣品臺 (compucentric stage)同時擁有 EDS 和 EBSD 分析所需的理想幾何結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);
  • 可選配帶有強(qiáng)大樣品臺的超大樣品室(XM、GM),可檢測大樣品 (如6", 8", 12")晶圓;
  • 優(yōu)化幾何設(shè)計(jì)的眾多接口,可用于接入 EDS、WDS、EBSD 以及其他探測器;
  • 可變真空模式適用于非導(dǎo)電樣品研究;
  • 多樣可選擇的減震方式可有效降低實(shí)驗(yàn)室環(huán)境振動的影響;
  • 無畸變 EBSD 花樣。

 

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