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Zeta-388 光學輪廓儀

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輪廓儀

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億誠恒達科技有限公司,在北京和香港兩地注冊。北京公司位于北京海淀中關村核心區(qū)域,是一家專門代理營銷進口科學儀器、測試測量設備的高科技企業(yè),所經營的產品涵蓋材料科學、化學分析、綠色能源、半導體及微電子科學等領域。公司本著“誠信、務實、品質、服務”的經營理念,已經為國內許多用戶提供了*的儀器設備,專業(yè)的技術咨詢和完善的售后服務。

公司主要代理產品有:*材料試驗機,疲勞試驗機,沖擊試驗機,電化學工作站,恒電位/恒電流儀,石英晶體微天平,三維形貌儀,輪廓儀,原子力顯微鏡(AFM),掃描探針顯微鏡(SPM),摩擦磨損試驗機,瓶蓋扭矩測量儀,軸承扭矩測量儀,高頻疲勞試驗機。

億誠恒達科技有限公司愿與客戶攜手,共創(chuàng)美好未來!

萬能材料試驗機,疲勞試驗機,沖擊試驗機,電化學工作站,恒電位/恒電流儀,石英晶體微天平,三維形貌儀,輪廓儀,原子力顯微鏡(AFM),掃描探針顯微鏡(SPM),摩擦磨損試驗機,瓶蓋扭矩測量儀,軸承扭矩測量儀,高頻疲勞試驗機

產地類別 進口 產品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價格區(qū)間 面議 應用領域 食品/農產品,化工,地礦,能源

Zeta-388 光學輪廓儀

Zeta-388的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學量測技術。ZDot測量模式可同時收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠焦距圖像。其他3D測量技術包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta-388也是一款顯微鏡,可用于樣品檢查或自動缺陷檢測。Zeta-388通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能,以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送,適用于研發(fā)及生產環(huán)境。

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主要功能

·        采用ZDotMulti-Mode(多模式)光學器件的簡單易用的光學輪廓儀,具有廣泛的應用

·        可用于樣品復檢或缺陷檢測的高質量顯微鏡

·        ZDot同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像

 

 

·        ZXI白光干涉測量技術,適用于z向分辨率高的廣域測量

·        ZIC干涉對比度,適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數據

·        ZSI剪切干涉測量技術提供z向高分辨率圖像

·        ZFT使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率

·        AOI自動光學檢測,并對樣品上的缺陷進行量化

·        生產能力:通過測序和圖案識別實現全自動測量

 

·        晶圓傳送機械臂自動加載直徑為50mm200mm的不透明(如硅)和透明(如藍寶石)樣品

 

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Zeta-388 光學輪廓儀

主要應用

·        臺階高度:納米到毫米級別的3D臺階高度

·        紋理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

·        外形:3D翹曲和形狀

·        應力:2D薄膜應力

·        薄膜厚度:30nm100μm透明薄膜厚度

·        缺陷檢測:捕獲大于1μm的缺陷

·        缺陷復檢:采用KLARF文件作為導航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

 

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