化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>SHCV-6/SHCV-8/SHCV-12 分析探針臺(tái)
SHCV-6/SHCV-8/SHCV-12 分析探針臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) SHCV-6/SHCV-8/SHCV-12
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/7/2 10:53:10
- 訪問次數(shù) 326
產(chǎn)品標(biāo)簽
高低溫真空探針臺(tái)晶圓測(cè)試探針臺(tái)半導(dǎo)體測(cè)試失效分析全自動(dòng)探針臺(tái)
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半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備：探針臺(tái)，I-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀，網(wǎng)絡(luò)分析儀，激光系統(tǒng)，金相顯微鏡，EMMI微光顯微鏡，X射線，C-SAM超聲波探測(cè)，電子顯微鏡
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 電動(dòng)機(jī)功率 | 2.2KWkW |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 860mm*850mm*700mmmm | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
| 重量 | 170kgkg |
| 半自動(dòng)分析探針臺(tái) | |||||
| 型號(hào) | SHCV-6 | SHCV-8 | SHCV-12 | ||
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | ||
| 重量 | 約180KG | 約250KG | 約380KG | ||
| 電力需求 | AC220V,50~60HZ | ||||
| Chuck | 尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 | |
| X-Y軸行程 | 6*6英寸 | 8*8英寸 | 12*12英寸 | ||
| X-Y軸移動(dòng)解析度 | 0.1um | ||||
| X-Y軸重復(fù)定位精度 | ±1um | ||||
| 移動(dòng)速度 | ≥ 50 mm/sec | ||||
| Z軸行程 | 10mm | ||||
| Z軸移動(dòng)解析度 | 0.1um | ||||
| Z軸重復(fù)定位精度 | ±1um | ||||
| Theta角度行程 | ±10° | Theta角度解析度 | 0.0001° | ||
| 樣品固定方式 | 多孔真空吸附，獨(dú)立分區(qū)控制 | ||||
| 切換樣品功能 | 樣品臺(tái)快速拉出 | ||||
| 結(jié)構(gòu) | 同軸高壓設(shè)計(jì)，鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，可作為背電極使用 | ||||
| 針座平臺(tái) | 規(guī)格 | O型平臺(tái)，多可放置8個(gè)針座 | O型平臺(tái)，多可放置10個(gè)針座 | O型平臺(tái)，多可放置12個(gè)針座 | |
| 行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺(tái)可以快速升降，行程6mm并帶自動(dòng)鎖定功能 | ||||
| 溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ | |
| 溫控精度 | 溫度分辨率 ： 0.01°C | ||||
| 加熱電源 | LVDC 低壓直流 | ||||
| 低控溫速率 | ±0.1°C /小時(shí) | ||||
| 傳感器 | Pt100 | ||||
| 制冷方式 | 液氮制冷或者壓縮機(jī)制冷 | ||||
| 軟件功能 | wafer map的編輯 | 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | 2*2inch | |
| 儀器的接入 | 顯微鏡行程 | 1um | |||
| 數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示 | 放大倍數(shù) | 20-4000X | |||
| 數(shù)據(jù)的分析 | CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | |||
| 差異數(shù)據(jù)的標(biāo)定Ink mark | 點(diǎn)針規(guī)格 | 點(diǎn)針精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||
| 自定義Bin分 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 自動(dòng)測(cè)試 | 漏電精度 | 10pA/100fA | |||
| 通訊接口：RS232/484TCP/IP/,GPIB等 | 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口 | |||
| 大功率規(guī)格 | 配置 | 大功率kelvin樣品臺(tái) | 減震 | 主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng) | |
| 大功率夾具線纜 | 可選附件 | 射頻測(cè)試 | chuck快速拉出裝置 | ||
| mult-pin 分流探針 | 卡盤鍍金 | PCB板夾具 | |||
| 大功率保護(hù)模塊（針座用） | 激光修復(fù) | 液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝 | |||
| 保護(hù)紅外光幕，防止人員誤進(jìn)入工作區(qū)，觸發(fā)時(shí)interlock互鎖 | 探針卡夾具 | 光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件 | |||
| 大功率儀器連接模塊 | 屏蔽箱 | 高低溫樣品臺(tái)（-80~200℃） | |||
| 大測(cè)試電壓 | 10KV | 加熱臺(tái) | 顯微鏡傾仰裝置 | ||
| 大測(cè)試電流 | 500A（脈沖） | 應(yīng)用方向 | 晶圓測(cè)試，功率器件半自動(dòng)測(cè)試 | ||
| 特點(diǎn)： | |||||
| Si/SiC/GaN等晶圓測(cè)試 | 超高的測(cè)試精度和測(cè)試效率 | ||||
| 大功率晶圓測(cè)試 | 便捷的儀器接入 | ||||
| （-80~200℃）高低溫Chuck | 半自動(dòng)測(cè)試 | ||||
| 20~4000X光學(xué)顯微放大 | 可升級(jí)全自動(dòng)測(cè)試 | ||||
| 功能豐富的測(cè)試軟件 | 可升級(jí)射頻測(cè)試 | ||||
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