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化工儀器網(wǎng)>產品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗機>Triton160 Triton160一體式等離子清洗機

Triton160 Triton160一體式等離子清洗機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市馳揚科技有限公司-J
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 Triton160
  • 產地
  • 廠商性質 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2019/6/12 16:09:47
  • 訪問次數(shù) 568
產品標簽

Triton160

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質譜儀,液相色譜,光譜儀

產地類別 進口 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保

Triton160一體式等離子清洗機

應用領域

I 金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗

通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物,提供一個清潔的焊接面,提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率以及鍵合強力。

II 塑封(Molding)前的等離子清洗

等離子清洗、活化工藝可以去除器件表面各種納米級的污染物殘留,并提升表面能,保證塑封料與基底材料的緊密結合,減少分層等不良的產生。

III 底部填充(Underfill)前的等離子清洗:

通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物,提供一個清潔的焊接面,提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率以及鍵合強力。

IV 光刻膠的去除(Descum):

在微電子行業(yè)中,使用等離子去除光刻膠是一種常用的工藝,通過等離子處理可以去除顯影后孔底的殘膠,并對孔的側壁形貌就行修飾,提升后續(xù)工藝良率。此外,濕法去膠后,用等離子去除表面殘留的納米級光刻膠殘留也可有效提升后續(xù)工藝良率。

Triton160一體式等離子清洗機

設備特點

• 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng),具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復性

• 靈活的電極結構設置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案,確保大批量處理的均勻性

• 精準安全的反應源供應系統(tǒng),可滿足多種工藝需求

• PLC與工控機提供穩(wěn)定的過程控制,設備運行的實時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)

• 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,易于保養(yǎng)與維護



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