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UL1000 Fab UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

UL1000 Fab

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光學(xué)檢測(cè)設(shè)備,光電成像系統(tǒng),光電器件材料及時(shí)頻

價(jià)格區(qū)間 面議 儀器種類 氦質(zhì)譜檢漏儀(進(jìn)口)
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè)

UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀提供的*的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL(智能泄漏率計(jì)算法)讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長(zhǎng)反應(yīng)時(shí)間的煩惱,因?yàn)?nbsp;UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀

功能

• 15 級(jí)的寬測(cè)量范圍

• 較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間

• I-CAL(智能泄漏率計(jì)算法)確保了在所有測(cè)量范圍中提供較快的泄漏響應(yīng)時(shí)間

• 抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正,可提供快速、可靠的泄漏檢測(cè)結(jié)果

• 含堅(jiān)固耐用低真空泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì),提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比

• 自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染

• 自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行泄漏檢測(cè)

• 可通過電子郵件進(jìn)行軟件更新

• 內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測(cè)漏”功能可執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測(cè)試(可選 TC1000 測(cè)試盒)  

 

 

                  應(yīng) 用

• 對(duì)半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè),無(wú)論是否具有自有泵支持

• 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測(cè)試條件的應(yīng)用

• 在現(xiàn)有工具中安裝前對(duì)部件執(zhí)行檢漏

• 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

• 內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測(cè)漏”功能可使用 TC1000 測(cè)試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測(cè)試



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