ZLS-28D/M型氦質(zhì)譜檢漏儀是一種全新的訂制型氦質(zhì)譜檢漏儀，儀器內(nèi)分子泵采用國(guó)外*產(chǎn)品，可靠性高。儀器采用計(jì)算機(jī)程序控制，通過(guò)觸摸式顯示屏按人機(jī)對(duì)話方式進(jìn)行功能操作，具有自動(dòng)尋峰、程序控制、大字符漏率顯示，漏率直讀，四種常用漏率單位轉(zhuǎn)換，檢漏數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、分析、統(tǒng)計(jì)及打印等功能，具備高度的智能化程度。該儀器大的優(yōu)勢(shì)在于：可根據(jù)用戶需求，通過(guò)RS232（或RS485）通信的方式，達(dá)到遠(yuǎn)程操作以及與服務(wù)器數(shù)據(jù)交換的功能；還可根據(jù)用戶自行訂制，*開(kāi)放人機(jī)界面，實(shí)時(shí)刷新技術(shù)協(xié)議，從而達(dá)到由生產(chǎn)線上的主服務(wù)器來(lái)統(tǒng)一控制的需求。

 ZLS-28D/M型氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù)：
儀器的啟動(dòng)時(shí)間：  不大于5min
小可檢漏率：優(yōu)于5×10^-12Pa.m³/s(負(fù)壓法/噴He)；優(yōu)于1×10^-9Pa.m³/s(正壓法/吸He)
反應(yīng)時(shí)間：  不大3s
質(zhì)譜室允許工作的高壓強(qiáng)：1×10^-2Pa
測(cè)試口允許工作的高壓強(qiáng)：1000Pa
儀器的輪廓尺寸：  640×550×980 mm³
儀器的重量：    約75Kg
       
主要配置：
1.渦輪分子泵----（國(guó)外品牌） 1臺(tái)
2.前級(jí)泵--------（國(guó)外品牌） 1臺(tái)
3.粗抽泵--------（國(guó)外品牌） 1臺(tái) 
4.質(zhì)譜分析室-----------成都儀器廠  1套 
5.電子控制線路及軟件---成都儀器廠  1套
6.控制電磁閥-----------成都儀器廠  1套
7.負(fù)壓校準(zhǔn)漏孔（帶計(jì)量證書(shū) ） 1支
8.工控計(jì)算機(jī)（研華 15寸觸屏式）1臺(tái)
9．噴槍、氣袋---------成都儀器廠 1套
10.吸槍---------------成都儀器廠 1套
11.打印機(jī)-------------聯(lián)想  1套
    
儀器的使用條件:
環(huán)境溫度：＋5℃～＋35℃
環(huán)境相對(duì)濕度：50～80％
供電電源：220V±22V，功率約為1kVA（用戶配穩(wěn)壓器佳）
儀器附近無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾