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臥/立式連續(xù)磁控濺射鍍AZO膜生產(chǎn)線

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AZO透明導(dǎo)電膜生產(chǎn)線

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上海福宜真空設(shè)備有限公司,是致力于真空鍍膜設(shè)備、復(fù)雜鍍膜工藝和真空設(shè)備核心部件的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)的*。 公司創(chuàng)始人和核心技術(shù)團(tuán)隊(duì),致力于復(fù)雜鍍膜工藝的開發(fā),鍍膜工藝和設(shè)備集成的理論和實(shí)際相結(jié)合是公司發(fā)展的主要特色。相對于整機(jī)設(shè)備和鍍膜工藝技術(shù),國內(nèi)核心部件的研究和制備技術(shù)水平與國外差距更大。公司投入超過1000萬元

工模具硬質(zhì)涂層鍍膜設(shè)備、磁控濺射鍍膜設(shè)備、多弧離子鍍膜設(shè)備、磁控濺射復(fù)合多弧離子鍍鍍膜設(shè)備、連續(xù)線式磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議

 臥/立式連續(xù)磁控濺射鍍AZO膜生產(chǎn)線共設(shè)計有七個真空腔體部分,*部分為進(jìn)口室,第二部分為進(jìn)口緩沖室,第三部分為進(jìn)口傳送室,第四部分為工藝室,第五部分為出口傳送室,第六部分為出口緩沖室,第七部分為出口室;兩對采用PCU04閉路環(huán)控制的中頻孿生Si靶,形成高質(zhì)量的隔離SiO2層;十對圓柱AZO靶,實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的AZO透明導(dǎo)線膜;設(shè)備設(shè)計加工尺寸為寬1100mm,長1400mm的平面基板材料,生產(chǎn)加工周期可優(yōu)化到60-120秒;生產(chǎn)線采用分子泵抽氣形成氣氛隔離的*設(shè)計,生產(chǎn)線采用渦輪浮分子泵以獲得高效的隔離、穩(wěn)定的抽速和均勻的氣體分布。

       臥/立式連續(xù)磁控濺射鍍AZO膜生產(chǎn)線運(yùn)用在薄膜太陽能電池上,透明導(dǎo)電膜用為減反射層和透明電極使用,可以提高太陽能的轉(zhuǎn)化效率,用AZO薄膜代替ITO薄膜,不僅可以降低生產(chǎn)成本,而且無毒環(huán)保,膜層性能更加穩(wěn)定。



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