FT9500X X射線熒光鍍層厚度測量儀通過新型X射線聚焦光學(xué)系統(tǒng)（聚焦導(dǎo)管）的開發(fā)，用我司的膜厚*小的實(shí)際照射直徑30μm實(shí)現(xiàn)高亮度X射線束。為此，可以對以往X射線熒光鍍層厚度測量儀由于照射強(qiáng)度不足而無法得到理想精度的導(dǎo)線架，掐接頭，柔性線路板等微小部件及薄膜進(jìn)行測量。另外，相比FT9500，以往1/5的照射面積可以測量同等的精度。
FT9500X X射線熒光鍍層厚度測量儀特長
FT9500X產(chǎn)品規(guī)格
可測量元素原子序數(shù)13(Al)～83(Bi)
總電源管電壓：50kV
管電流：1mA
檢測器半導(dǎo)體檢測器(無需液氮)
X射線聚光聚焦導(dǎo)管方式
樣品觀察彩色CCD攝像頭（附變焦功能）
焦點(diǎn)激光焦點(diǎn)
濾波器Au超薄膜厚測量用濾波器
樣品平臺240(W)×175(D)mm
X：220mmY：150mmZ：150mm
420(W)×330(D)mm
X：400mmY：285mmZ：50mm
操作方式電腦19英寸液晶顯示器
測量軟件薄膜FP法（多5層）薄膜檢量線
數(shù)據(jù)處理Microsoft®Excel、Microsoft®Word
安全功能樣品室門連鎖