接觸式干涉儀計(jì)量儀的應(yīng)用極為廣泛，主要有如下幾方面：
長度測量
在接觸式干涉儀計(jì)量儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長度的精確比較或測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-干涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示米。
折射率測定
兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過條紋移動(dòng)來對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。
波長的測量
任何一個(gè)以波長為單位測量標(biāo)準(zhǔn)米尺的方法也就是以標(biāo)準(zhǔn)米尺為單位來測量波長的方法。以米為標(biāo)準(zhǔn)，利用干涉儀可精確測定光波波長。法布里-干涉儀（標(biāo)準(zhǔn)具）曾被用來確定波長的初級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（鎘紅譜線波長）和幾個(gè)次級(jí)波長標(biāo)準(zhǔn)，從而通過比較法確定其他光譜線的波長。