iH600 iH1000 英國愛德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
參考價 | ¥ 450000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 昆山熙日機械設(shè)備有限公司
- 品牌 Edwards/英國愛德華
- 型號 iH600 iH1000
- 產(chǎn)地 英國
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2019/3/25 9:44:41
- 訪問次數(shù) 4490
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泵軸位置 | 其他 | 抽氣速率 | 150l/s |
---|---|---|---|
功率 | 6.1kW | 極限壓力 | 0.7pa |
流量 | 600m3/h | 排出口徑 | NW40mm |
輸送介質(zhì) | 其他 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
重量 | 415kg |
英國愛德華EDWARDS晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
概述
Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。英國愛德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
應(yīng)用
- 負(fù)載鎖
- 輸送
- 計量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 預(yù)清潔
- RTA
- 剝離/灰化
- 刻蝕
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和優(yōu)勢
- 優(yōu)化了設(shè)施消耗。
- 無需預(yù)防性維護(hù)。
- 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
- 在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
- 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
- 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
- 整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。英國愛德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 | 600 m3h-1 |
353 cfm | |
10000 l min-1 | |
極限真空 | 7 x 10-4 mbar |
5.3 x 10-4 Torr | |
0.07 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進(jìn)氣口連接 | ISO100 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 415 kg |
極限功率輸入 | 3.4 kW |
電機額定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.43 l |
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江英國愛德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門英國愛德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州英國愛德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
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