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納米精度電動平移臺

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上海昊量光電設(shè)備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷,致力于引進(jìn)guo外*先進(jìn)性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品,為國內(nèi)Z前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、精密光學(xué)元件等,所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國防等。

昊量光電堅持“專業(yè)源自專注,專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來,我們專注于前沿的細(xì)分市場,為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進(jìn)激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

作為一家以技術(shù)溝通與技術(shù)服務(wù)見長的高科技企業(yè),我們所有的銷售與技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊成員都具有理工科方面的專業(yè)背景,并在公司接受相關(guān)領(lǐng)域的專業(yè)培訓(xùn),在售前技術(shù)溝通、售后產(chǎn)品安裝培訓(xùn)、產(chǎn)品問題解決、軟硬件增值服務(wù)等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務(wù)!我們專業(yè)高效的商務(wù)與物流部門憑借多年積累的貿(mào)易經(jīng)驗與規(guī)范化的制度流程,保障每一筆訂貨準(zhǔn)時安全到達(dá)目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價值觀,昊量光電堅持以誠信為基石,憑借高效的運營機(jī)制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價值,實現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產(chǎn)業(yè),昊量光電始終堅持價值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認(rèn)可,不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆,立志打造的代理服務(wù)品牌!



激光器調(diào)制器,激光測量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計數(shù)器,專用實驗設(shè)備,相機(jī)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

納米精度電動平移臺。

  • 納米精度電動平移臺

納米精度,大行程電動平移臺!

所屬類別:光機(jī)產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) ? 電動平移臺

技術(shù)服務(wù)人員:李工(William)

納米精度電動平移臺。


電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的執(zhí)行裝置,通過絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成:位移臺、電機(jī)和控制器。驅(qū)動電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟,主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電動平移臺傳動螺桿采用滾珠絲杠實現(xiàn)高速平穩(wěn)運動,*的螺桿品質(zhì)使平移臺擁有的分辨率、定位精度。采用超高等級交叉滾珠導(dǎo)軌,具有超高的運動性能。該系統(tǒng)采用光柵尺閉環(huán)控制,在確保大行程的同時,分辨率達(dá)到了1nm。按照定位精度區(qū)分,我司平移臺可分為 1nm高精度位移臺、5納米精度和10納米精度位移臺、亞微米精度位移臺。

11nm高精度電控位移臺。

該系類位移臺可分為諧波齒輪5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動和普通的5相步進(jìn)電機(jī)兩種類型的平移臺。采用光柵尺位置反饋閉環(huán)控制使其分辨率可達(dá)到1納米,重復(fù)定位精度可達(dá)到±2nm,可提供20mm、40mm50mm三種不同的行程,并可以組裝成多維電控運動系統(tǒng)。

25nm精度電控位移臺

該系類產(chǎn)品是一款擁有5納米定位精度的閉環(huán)控制平移臺,可提供 20mm、40mm、和50mm三個不同的行程,由于采用光柵尺位置編碼閉環(huán)反饋控制,使其擁有優(yōu)秀的分辨率、定位精度及重復(fù)定位精鍍。


310nm精度電控位移臺

該系類電控位移臺是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統(tǒng)。其采用光學(xué)線性位置編碼器,在提供大行程的同時,使設(shè)備擁有較高的精度。該系類評議臺可提供20mm40mm、50mm、100mm120mm、150200mm等不同行程的電控位移臺。


4)亞微米分辨率電控位移臺

該系類位移平臺是指分辨率可達(dá)到亞微米精度的精密運動系統(tǒng)。該系統(tǒng)也是光學(xué)編碼閉環(huán)控制,精度可達(dá)到50-100nm,可提供20mm、40mm、50mm、100mm120mm、150200mm等不同行程的電控位移臺,并可以根據(jù)需求組成二維電控平移臺。

此外該系列平移臺提供在真空條件下的同規(guī)格的電控平移臺,可承受的真空度可達(dá)到10-4Pa,相當(dāng)于10-6 torr的真空度。


  • 主要特點

  • 高分辨率

  • 高重復(fù)定位精度

  • 采用滾珠絲杠,實現(xiàn)高精度定位

  • 采用高等級交叉滾珠導(dǎo)軌,具有超高運動性能

  • 可提供真空同規(guī)格的真空版本平移臺


  • 主要應(yīng)用

超精密激光加工、超精密三維掃描測量、全自動計量儀器檢測設(shè)備、工業(yè)自動化等領(lǐng)域。


  • 主要參數(shù):

型號

行程(mm)

最大負(fù)(N)

分辨率(nm)

重復(fù)定位精(nm)

最大移動速度(mm/s)

AU-FS-1020 SPXMD

20

49

1

±2

0.4

AU-FS-1040 SPX(MD)

40

49

1

±2

0.5

AU-FS-1050 SPX(MD)

50

98

1

±2

0.5

AU-FS-1020UPX

20

49

1

±2

5

AU-FS-1040UPX

40

49

1

±2

5

AU-FS-1050UPX

50

98

1

±2

5

AU-FS-1020 SPX

20

49

5

±10

5

AU-FS-1040 SPX

40

49

5

±10

5

AU-FS-1050 SPX

50

98

5

±10

5

AU-FS-1020 PX

20

49

10

±20

10-

AU-FS - 1040 PX

40

49

10

±20

10-

AU-FS - 1050 PX

50

98

10

±20

10-

AU-FS-1100 PX

100

98

10

±20

10-

AU-FS-3150PX

150

98

10

±20

10-

AU-FS-3200 PX

200

196

10

±20

20

亞微米精度電控位移臺參數(shù):

型號

行程(mm

最大負(fù)載(N)

分辨率(nm)

重復(fù)定位精度(nm)

最大移動速度(mm/s)

FC-411

FC-111

FC-411

FC-111

FS-1020X

20

49

50

100

±100

±200

10

FS-1040X

40

49

50

100

±100

±200

10

FS-1050X

50

98

50

100

±100

±200

10

FS-1100X

100

98

50

100

±100

±200

10

FS-3150X

150

98

50

100

±100

±200

10

FS-3200X

200

196

50

100

±100

±200

10




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