進(jìn)口激光干涉儀選擇API XD測量方法

主要特性：

¾一次安裝能測量6項(xiàng)精度指標(biāo)包括線性定位誤差、 XX及YY兩個(gè)方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角
¾ 把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
¾ 兩點(diǎn)調(diào)光線. 無需三腳架. 測量調(diào)整簡單快速
¾ 傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項(xiàng)精度指標(biāo)(三軸)，約需3天的時(shí)間； API干涉儀只約需半天!
¾ 測量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺時(shí), 不怕斷光, 可當(dāng)自準(zhǔn)直儀用, 用于機(jī)床裝配調(diào)試
 

良好的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
API公司采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計(jì)（如下圖），將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機(jī)隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準(zhǔn)確性。

API XD干涉儀線性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時(shí)測量其它五個(gè)參數(shù);
¾ 可利用電腦中的直線度實(shí)時(shí)顯示,
數(shù)字化去除余弦差，測量準(zhǔn)確;
¾ 兩點(diǎn)調(diào)光，對光迅速

直線度測量— API XD的方法

應(yīng)用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號)

¾ 不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準(zhǔn)直儀)
¾ 對直線度進(jìn)行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速

垂直度測量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節(jié)省了測量所占用機(jī)床的時(shí)間，也可避免人為差錯(cuò)。

偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技術(shù)來測量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標(biāo)值，從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試
¾ 不受滾動(dòng)角的影響，調(diào)整光路容易、:
 

API XD 檢測導(dǎo)軌平行度(示意)：