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小流量氣體質量流量傳感器

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矽翔微機電系統(tǒng)有限公司(Siargo,Ltd.)成立于2003年,公司總部位于美國加州硅谷。 矽翔公司生產(chǎn)的具有自主知識產(chǎn)權的MEMS流量芯片及其封裝技術為流體的測量提供了全新的拓展空間。該流量芯片為本質安全型,具有低功耗、超大量程、高精度、易于數(shù)據(jù)遠傳和網(wǎng)絡化等特點??捎糜诟黝悮怏w及其它微流體(含液體)的流量和濃度的測量。其產(chǎn)品已在醫(yī)療設備、工業(yè)及商用天然氣計量、工業(yè)生產(chǎn)氣體控制、樓宇自控等方面得到了廣泛的應用。 矽翔公司2005年在中國上海、成都及北京成立了分公司或辦事處。 矽翔公司生產(chǎn)的具有自主知識產(chǎn)權基于集成MEMS/NEMS芯片的傳感器及微系統(tǒng)、系統(tǒng)產(chǎn)品可用于能源、醫(yī)療設備、工業(yè)氣體計量和控制、為流體計量和控制以及通訊工程的各類應用中。

目前公司提供的主要產(chǎn)品有: 世界的低功耗MEMS流量傳感器及在此基礎上開發(fā)生產(chǎn)的流量計(包括在線式及插入式流量計),具有超大量程、高精度等特點。 使用電池供電的熱質量氣體流量計、兩線制氣體質量流量計并具有超大量程、高精度、易于遠程數(shù)據(jù)傳輸及網(wǎng)路化等特點。 專門為醫(yī)療應用設計的流量傳感器,可用液體消毒、清洗;具有變量程、雙向測量等特點。 用于氣體或液體濃度檢測的傳感器,無衰減、功耗低、響應快,并可以同時測量流量和濃度的變化。

產(chǎn)品特點
   • 傳感器靈敏度搞,極小的始動流量
   • 傳感芯片采用熱質量流量計量,無需溫度及壓力補償,保障了傳感器的高精度計量 
   • 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
   • 8~24V供電
   • 傳感器零點穩(wěn)定度較傳統(tǒng)的熱式質量流量計有*的改善 
   • *的封裝技術采用直接測量,無需旁路,壓力損失大幅度減小
   • 體積小、安裝方便
   • 可用于小至3.6mm的管徑,特別對于微流量測量和控制有其*的*性



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