產(chǎn)品詳情

• 主機(jī)特性：

• 操作環(huán)境：采用直觀(guān)的點(diǎn)擊式 Windows 操作環(huán)境，方便用戶(hù)操作，加速并簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)獲取過(guò)程。

• 分辨率擴(kuò)展：配備遠(yuǎn)端前置放大器，可將源測(cè)量單元（SMU）的分辨率擴(kuò)展至 0.1fA。

• 測(cè)量功能：具備新型脈沖與脈沖式 I - V 功能，集成了示波與脈沖測(cè)量功能的示波卡，可進(jìn)行高級(jí)半導(dǎo)體測(cè)試。

• 數(shù)據(jù)處理：內(nèi)置 PC，提供快速的測(cè)試設(shè)置、強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析、制圖與打印功能，還擁有大容量存儲(chǔ)器，可存儲(chǔ)大量測(cè)試結(jié)果。

• 軟件界面：具有瀏覽器風(fēng)格的軟件界面，可根據(jù)器件類(lèi)型安排測(cè)試，能執(zhí)行多項(xiàng)測(cè)試并提供測(cè)試序列與循環(huán)控制功能。

• 可靠性測(cè)試：內(nèi)置了 Stress/Measure、循環(huán)和數(shù)據(jù)分析功能，通過(guò)鼠標(biāo)點(diǎn)擊方式可進(jìn)行可靠性測(cè)試，支持 5 個(gè) JEDEC 規(guī)范的樣品測(cè)試。

• 兼容性：支持 Keithley 590 型與 Agilent 4284/4294 型 C - V 儀、Keithley 開(kāi)關(guān)矩陣與 Agilent 81110 脈沖發(fā)生器等多種外圍設(shè)備。硬件由 Keithley 交互式測(cè)試環(huán)境（KITE）控制，可用于外接儀表控制與測(cè)試平臺(tái)集成。還包括驅(qū)動(dòng)軟件，支持 Cascade Microtech Summit 12K 系列等多種探針臺(tái)。

• 4210 - CVU 模塊特性：

• 測(cè)量參數(shù)：用于獲取 C - V 曲線(xiàn)，可測(cè)量 Cp - G，Cp - D，Cs - Rs，Cs - D，R - jx，Z - theta 等參數(shù)。

• 頻率范圍：測(cè)試信號(hào)頻率范圍為 1kHz 至 10MHz，頻率精度 ±0.1%。

• 信號(hào)輸出：信號(hào)輸出電平范圍 10mV 至 100mV，直流偏置 ±30V，差分模式最大輸出 60V。

• 電容測(cè)量范圍：電容測(cè)量范圍為 1pF 至 1μF。

• 整體技術(shù)指標(biāo)：

• I - V 測(cè)量：I - V 源測(cè)量單元電壓范圍可達(dá) ±210V，電流范圍根據(jù)模塊不同可為 100mA（中功率模塊）或 1A（高功率模塊），分辨率可達(dá) 100fA，選配前端放大器可提升至 0.1fA，支持四象限操作。

• 脈沖式 I - V 測(cè)量：脈沖電壓為 ±40V（80Vp - p），脈沖電流為 ±800mA，采樣率 200MSa/s，分辨率 5ns，支持多電平脈沖瞬態(tài)波形捕獲。