MS兼容氣體列表：

MCS兼容氣體列表：

NO 至 *                                

NO 至 *

NF3 至 * NH3 至 * Cl2 至 *

NF3 至 * NH3 至 *

H2S 至 * SO2 至 *

H2S 至 * （22℃及以下）

二甲醚 至 *

二甲醚 至 *

丙烯 至 * 

丙烯 至 *

制冷劑氣體 至 *

制冷劑氣體 至 *

惰性載氣內(nèi)NO2 至 0.5%

惰性載氣內(nèi)NO2 至 0.5%，

惰性載氣內(nèi)其它氣體，至1000 ppm，

規(guī)格

MS質(zhì)量流量計

MCS質(zhì)量流量控制器

描述

精度

± (0.8% of Reading + 0.2% of Full Scale)

調(diào)零后在標準條件下

高精度（可選項）

± (0.4% of Reading + 0.2% of Full Scale)

調(diào)零后在標準條件下

重復(fù)性

± 0.2%

滿量程

量程可調(diào)范圍

1% to * Full Scale

測量與控制

典型反應(yīng)時間

10

100

毫秒（可調(diào)整）

標準工況 （STP）

25ºC & 14.696PSIA

質(zhì)量流量的參考工況

工作溫度

-10到 +50

℃

零點漂移

0.02%

滿量程 /℃/ Atm

滿量程漂移

0.02%

滿量程 /℃/ Atm

工作濕度范圍

0 to *

非冷凝

zui大可測流量

128%

滿量程

zui大可控流量

102.4%

滿量程

zui大工作壓力

145

PSIG

數(shù)字輸入/輸出信號種類

質(zhì)量、體積流量、壓力與溫度

RS-232或RS-485系列、PROFIBUS和DeviceNet1

模擬輸入/輸出信號種類

質(zhì)量流量

0-5Vdc

第二通道模擬輸入/輸出信號種類（可選項）Analog

質(zhì)量、體積流量、壓力與溫度

0-5 Vdc或0-10Vdc或4-20mA

電信號接口

8針miniDIN或DB-15

供電電壓：MS

7 至 30 Vdc （15-30Vdc，當選擇4-20mA輸出）

供電電壓： MCS

12 至 30 Vdc （15-30Vdc，當選擇4-20mA輸出）

供電電流：MS

0.04 Amp （+ 輸出電流，當選擇4-20mA輸出）

供電電流： MCS

0.250Amp（12 Vdc，隨著供電電壓的升高而下降）

是否對安裝方式/方向的要求

無

啟動預(yù)熱時間

< 1

秒

材質(zhì)2

316L不銹鋼，F(xiàn)FKM （Kalrez）標準；VitonR、EPDM、Buna、Neoprene氯丁橡膠（若部分氣體需要）。MCS控制器包含： 303SS、430 FRSS

1.若選擇PROFIBUS或DeviceNet，則無模擬信號。PROFIBUS與DeviceNet的設(shè)備不帶顯示屏。請參考PROFIBUS 與DeviceNet規(guī)格以了解供電電流與電壓。

2.對于部分腐蝕性氣體，材質(zhì)不盡相同。欲了解準確的材質(zhì)與可用選配件，請我公司或Alicat公司。