TSV-700DLC 鍍膜機
- 公司名稱 深圳市利達科技有限公司
- 品牌
- 型號 TSV-700DLC
- 產(chǎn)地 TSV
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2017/7/10 0:31:31
- 訪問次數(shù) 685
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產(chǎn)品型號:TSV-700DLC
該設(shè)備可在鍺,硅,硒化鋅,硫化鋅,玻璃基底上鍍制紅外高透射率的DLC膜層,可zui大直徑300左右的平面零件,也可根據(jù)客戶要求設(shè)計.
設(shè)備由優(yōu)質(zhì)不銹鋼真空室,渦輪分子泵高真空抽氣系統(tǒng),水冷沉積靶及RF射頻源,烘烤及控制系統(tǒng),高精度氣體輸入系統(tǒng),自動控制系統(tǒng)等部份組成.
● 功能: 真空室內(nèi)部不小于∮700X500可鍍膜零件zui大尺寸<∮400平面零件,可通熱水與冷水的銅靶或不銹鋼水循環(huán)系統(tǒng) . 真空抽氣系統(tǒng),無油高真空抽氣系統(tǒng),低真空泵為直聯(lián)泵,閥門,真空規(guī)管等具有防腐蝕功能.其中高閥為高精度電動高閥,預(yù)抽閥與粗抽閥為氣動閥.
● 烘烤及溫控:石英管加熱或陶瓷加熱,zui高溫度≥300度可調(diào)
● 水冷沉積靶及射頻電源: 水冷陰極靶由無氧銅制造,內(nèi)通循環(huán)冷卻水,可連續(xù)轉(zhuǎn)動,速度可調(diào).