化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測量/計量儀器>天平衡器>其它稱量設(shè)備>STS 310 PECVD_allwin2 PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
STS 310 PECVD_allwin2 PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 公司名稱 Allwin21 Corp
- 品牌
- 型號 STS 310 PECVD_allwin2
- 產(chǎn)地 USA
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2017/8/25 14:34:38
- 訪問次數(shù) 745
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快速退火爐AG Heatpulse 610; AG Heatpulse 4100 ;AG Heatpulse 4108; 打膠機(jī) GASONICS AURA 1000 ; GASONICS AE2001; GASONICS AE 2000LLL; 打膠機(jī) MATRIX 105/106/303/403 ; 等離子刻蝕機(jī) TEGAL 901/903; 探針臺 EG2001; EG 2010; EG 1034; 測試儀 HP4062;HP4145; AW-PCM測試軟件.〈br〉
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PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) STS 310 PECVD_allwin21
SYSTEM SPECIFICATION AND TECHNICAL DATA
High Temperature Electrode （allows up to 360 degree C）
Can be configured for 6 x 3",or 4 x 4" wafers
4" pumping port, throttle valve, high vac valve, foreline.
Current Gas configuration.
Gas lines- MFC are Tylan 2900 type
SF6 or CF4 MFC
N2O MFC
NH3 – 50 sccm, MFC
O2 – 3000 sccm, MFC
SiH4 - 3000sccm MFC
O2 is interlocked from NH3, SiH4 lines
RF power supply:187.5 KHz, 500 watts output and 13.56MHz watts output. There is a switch for 187.5KHz RF Power 500W to double the frequency to be 375 KHz.Edwards
E2M40 rotary pump with Edwards 250 blower.
本公司可提供涵蓋快速退火、去膠、刻蝕、測試等工藝的全新或翻新的半導(dǎo)體設(shè)備及備件。通過技藝*的設(shè)備翻新和*的軟件升級及技術(shù)測試，可以保證我們的設(shè)備具有出色的運(yùn)作表現(xiàn)，能夠滿足客戶的多種需求，降低客戶的生產(chǎn)成本。
本公司有快速退火爐RTP（保護(hù)氣氛熱處理爐）Allwin21 AG610 、EG2001/2010/1034探針臺;HP4062/HP4145測試儀;AW-PCM測試軟件；探針臺Wentworth MP 2020；PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) STS 310 PECVD_allwin21等.
公司在北京、南京、廣東等地設(shè)有辦事機(jī)構(gòu)，致力于為客戶提供完善的服務(wù)與支持。
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