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3D材料共聚焦測量顯微鏡

2025-04-30

產(chǎn)      地:
深圳市南山區(qū)西麗街道學(xué)苑大道1001號南山智園B1棟5樓
所在地區(qū):
廣東深圳市
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中圖儀器3D材料共聚焦測量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

3D材料共聚焦測量顯微鏡

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能:設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)影像測量功能:設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,可進行長度、角度、半徑等尺寸測量;

3)自動拼接功能:設(shè)備具備自動拼接功能,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

4)數(shù)據(jù)處理功能:設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析工具功能:設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

8)光源安全功能:光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設(shè)備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險。


不同應(yīng)用場景下的3D形貌

3D材料共聚焦測量顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

3D形貌圖片:

影像測量功能界面

3D材料共聚焦測量顯微鏡


中圖儀器3D材料共聚焦測量顯微鏡基于共聚焦技術(shù),結(jié)合精密Z向掃描與智能3D建模算法,可實現(xiàn)對納米至微米級表面形貌的高精度測量,覆蓋光滑、粗糙、低反射至高反射等多樣化材料表面。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、汽車零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工領(lǐng)域,助力企業(yè)提升質(zhì)量控制效率與產(chǎn)品研發(fā)能力。


核心優(yōu)勢

1、納米級測量精度

高度重復(fù)性≤12nm,精度達(0.2+L/100)μm,滿足ISO/ASME/EUR/GBT四大標準下的300+參數(shù)分析需求。

顯示分辨率低至0.1nm,精準捕捉微觀缺陷與形貌特征。

2、多功能一體化設(shè)計

3D形貌測量:全自動建模,支持粗糙度、曲率、平整度等關(guān)鍵參數(shù)提取。

2D影像測量:一鍵完成長度、角度、半徑等平面尺寸分析。

智能拼接技術(shù):大視場掃描(最大300×300mm),無縫拼接復(fù)雜表面數(shù)據(jù)。

3、非接觸式安全檢測

零接觸掃描技術(shù),避免樣品損傷,適用于脆性材料(如晶圓、光學(xué)膜材)及高反光表面。

鏡頭碰撞彈性回縮+光源自動熄燈保護,雙重安全機制延長設(shè)備壽命。

4、靈活配置,高效適配

可選5×至100×多規(guī)格物鏡(APO級消色差鏡頭),適應(yīng)不同倍率需求。

模塊化位移平臺(負載10kg,行程100×100mm至300×300mm),支持多樣化工件檢測。

5、全流程服務(wù)保障

60天快速交付:合同生效后60天內(nèi)完成生產(chǎn)與物流。

免費安裝培訓(xùn):現(xiàn)場調(diào)試+操作培訓(xùn),確??蛻舄毩⑹褂谩?/p>

12個月質(zhì)保+72小時故障響應(yīng),終身技術(shù)支持。


應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造:晶圓表面缺陷檢測、V型槽深度測量、激光孔形貌分析。

3C電子:手機玻璃屏平整度、微透鏡陣列曲率、PCB基材粗糙度檢測。

汽車工業(yè):精密零部件幾何輪廓、金剛石鉆頭磨損評估。

科研與新材料:超光滑表面粗糙度、微納結(jié)構(gòu)體積計算、太陽能柵線形貌建模。


部分技術(shù)指標

型號VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
寬度測量
XY位移平臺負載10kg
控制方式電動
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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