![]() |
主要技術(shù)參數(shù):
1 設(shè)備外觀:噴塑處理
外形尺寸:720(寬)×620(高)×600(深)不含機(jī)械泵
2 反應(yīng)倉材質(zhì):不銹鋼、反應(yīng)倉尺寸:250(寬)×200(高)×250(深)
3 等離子體頻率:13.56MHz
4 射頻電源功率:0-300W 可調(diào)
5 設(shè)備功率:≤1kW
6 控制方式:
等離子清洗機(jī)采用包括觸摸屏人機(jī)界面的 PLC 控制,操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理,可同時存儲50組不同的配方。使用時只需要將相應(yīng)配方號調(diào)出即可。設(shè)備參數(shù)分級管理,設(shè)備操作員、工藝人員、維護(hù)人員使用不同口令管理不同參數(shù),提高設(shè)備安全性。手動模式用于實(shí)驗(yàn)工藝以及設(shè)備維護(hù)維修。
7 MFC 質(zhì)量流量計控制(標(biāo)準(zhǔn)配置2路)
8 氣體流量:
工藝氣體(氧、氬等): (0~200)ml/min (標(biāo)準(zhǔn)氣壓,0℃)
9 工作氣體(標(biāo)配為氧、氬)接口壓力:0.1MPa (若需其它氣體需作聲
明)凈化冷卻氣體(氮?dú)猓┙涌趬毫Γ?.5MPa
10 設(shè)備工作節(jié)拍:空運(yùn)轉(zhuǎn)單次清洗時間≤5min
11 設(shè)備MES兼容接口:設(shè)備通過數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)將工藝參數(shù)傳輸至MES平臺
更多選擇可咨詢,如4寸等離子清洗機(jī)、多層等離子清洗機(jī)。