濕法清洗設備配套用水溶臭氧濃度檢測儀是一款創(chuàng)新的水中臭氧分析儀器，基于不同波長光對臭氧吸收不同的原理設計，采用雙光路采樣感應技術(shù)及半導體級別接觸材料，實時在線檢測臭氧水溶濃度。儀器采用反射測量腔體，數(shù)據(jù)穩(wěn)定準確、使用壽命長，無論是半導體清洗還是臭氧水的殺菌領(lǐng)域均可使用，應用市場廣泛。

應用領(lǐng)域

本儀器主要應用于超純水系統(tǒng)、制藥業(yè)、半導體濕法清洗及其他工業(yè)處理領(lǐng)域，為水中臭氧濃度儀器的創(chuàng)新開發(fā)。

濕法清洗設備配套用水溶臭氧濃度檢測儀產(chǎn)品特點
① 無移動部件，直線型設計，便于安裝操作；

② 半導體級別接觸材料設計；

③ 采用自動控制系統(tǒng)；

④ 維護周期長；

⑤ 采用雙光路取樣傳感技術(shù)及反射測量腔室，開創(chuàng)了水中臭氧濃度檢測的新技術(shù)；

⑥ 精度高，數(shù)值波動??；

⑦ 零點穩(wěn)定，可手動校準修正。

技術(shù)參數(shù)
量    程：0-150mg/L（ppm）
精    度：1.5%F.S
重 復 性：1%F.S

零 漂 移：1%F.S/月
響應時間：2秒到95%

流    量：0-75L/min

耐    壓：max5.0bar
模擬輸出：4-20mA

串口通訊：RS232，波特率9600bps

電源輸入：24V

接    口：3/4″Flaretek

接液材料：耐臭氧，與半導體制程兼容

吹 掃 口：G1/8

工作溫度：5～40℃

尺    寸：210*60*60mm
重    量：1kg