99超碰中文字幕在线观看-天天干天天日天天舔婷婷-我看操逼的好看的女人的-日本一二三四五区日韩精品


化工儀器網(wǎng)首頁>資訊中心>市場商機>正文

預算335萬 上海交通大學采購感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)
2023年11月25日 10:02:22 來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：6742

近日，上海交通大學就“感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)采購項目（項目編號：0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號：招設(shè)2023A00204）”發(fā)布招標公告，預算金額為335萬元。

　　【化工儀器網(wǎng) 市場商機】  感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)是一種先進的薄膜制備技術(shù)。這種系統(tǒng)通過感應耦合等離子體(ICP)的方式產(chǎn)生高密度等離子體，使得含有薄膜組成成分的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應，從而實現(xiàn)薄膜材料的制備。該系統(tǒng)主要應用于硅、III-V族化合物半導體、聚合物等襯底材料上，實現(xiàn)介質(zhì)薄膜(包括氧化硅、氮化硅等)和非晶態(tài)碳化硅等多種薄膜材料的制備。
 
　　近日，上海交通大學就“感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)采購項目(項目編號：0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號：招設(shè)2023A00204)”發(fā)布招標公告，預算金額為335萬元。該招標項目的潛在投標人應在上海市四平路200號盛泰國際大廈606室獲取招標文件，并于2023年12月15日 09點30分(北京時間)前遞交投標文件。
 
　　項目基本情況
 
　　項目編號：0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號：招設(shè)2023A00204
 
　　項目名稱：上海交通大學感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)(ICPECVD)
 
　　預算金額：335.000000 萬元(人民幣)
 
　　最高限價(如有)：335.000000 萬元(人民幣)
 
　　采購需求：
 
　　項目概況：該設(shè)備通過感應耦合等離子體(ICP)方式產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。
 
　　采購需求：
 
　　設(shè)備名稱：感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)(ICPECVD)
 
　　數(shù)量：1套
 
　　簡要技術(shù)參數(shù)：2.1 反應腔室：2.1.1 由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率。側(cè)壁帶加熱功能?！?.1.2 樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔室的開腔破真空。其余詳見“第八章  貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”
 
　　設(shè)備用途：該設(shè)備通過感應耦合等離子體(ICP)方式產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。
 
　　交貨期：簽訂合同后11個月內(nèi)
 
　　交付地點：上海交通大學用戶指定地點
 
　　合同履行期限：簽訂合同后11個月內(nèi)
 
　　本項目( 不接受  )聯(lián)合體投標。
 
　　申請人的資格要求：
 
　　1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
 
　　2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
 
　　本項目為機電產(chǎn)品國際招標項目，相關(guān)法規(guī)與政策均按照《機電產(chǎn)品國際招標投標實施辦法(試行)》執(zhí)行。
 
　　3.本項目的特定資格要求：1)投標人為制造商時，須提供制造商資格聲明函(見格式 IV-9-2)；投標人為代理商時，須提供資格聲明函(見格式 IV-9-3)及制造商提供的針對本項目的授權(quán)書(見格式 IV-9-4)；2)投標人開戶銀行在開標日前三個月內(nèi)開具的資信證明原件或復印件；3)投標人須在投標截止期之前在國家商務部指定的機電產(chǎn)品招標投標電子交易平臺(以下簡稱機電產(chǎn)品交易平臺)上完成有效注冊；4)不接受聯(lián)合體投標。
 
　　獲取招標文件
 
　　時間：2023年11月24日  至 2023年12月01日，每天上午9:00至12:30，下午12:30至17:00。(北京時間，法定節(jié)假日除外)
 
　　地點：上海市四平路200號盛泰國際大廈606室
 
　　方式：(1)投標人報名時須先登錄“上海交通大學數(shù)字化采購平臺” 供應商注冊進行網(wǎng)上注冊并實名認證。(2)注冊轉(zhuǎn)賬之后，請務必發(fā)郵件說明。郵件主題包含：投標人名稱+項目編號+項目名稱，郵件附件包含：網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬憑證。發(fā)送至zjzb2022@126.com。
 
　　售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
 
　　提交投標文件截止時間、開標時間和地點
 
　　提交投標文件截止時間：2023年12月15日 09點30分(北京時間)
 
　　開標時間：2023年12月15日 09點30分(北京時間)
 
　　地點：上海市四平路200號盛泰國際大廈606室
 
　　公告期限
 
　　自本公告發(fā)布之日起5個工作日。
關(guān)鍵詞

相關(guān)閱讀 Related Reading

查看更多+

版權(quán)與免責聲明

  • ①凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
  • ②本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
  • ③如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
驻马店市| 嘉善县| 竹北市| 兴文县| 林甸县| 固始县| 罗定市| 望都县| 报价| 乌苏市| 文水县| 班玛县| 凤冈县| 绥中县| 武汉市| 大同县| 芜湖县| 桂平市| 奉贤区| 夏邑县| 陇川县| 康保县| 阜新市| 绥芬河市| 黄平县| 翼城县| 武清区| 朝阳市| 东丽区| 祥云县| 贵阳市| 信宜市| 昌都县| 增城市| 固安县| 高尔夫| 额济纳旗| 青海省| 东宁县| 雷波县| 昌图县|