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聚焦離子束電子束雙束顯微鏡中標(biāo)結(jié)果公告
2023年06月16日 11:48:42
來源：機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(tái) 點(diǎn)擊量：4252
項(xiàng)目名稱：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室 2023年第二批科研設(shè)備采購項(xiàng)目，項(xiàng)目編號(hào)：1495-234thhrlab02/03，招標(biāo)范圍：產(chǎn)品名稱：聚焦離子束電子束雙束顯微鏡 數(shù)量：1臺(tái) 簡要技術(shù)規(guī)格：聚焦離子束電子束雙束顯微鏡（FIB-SEM）是一種半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備，具體規(guī)格如下： 1）用于晶圓上各項(xiàng)工藝后的形貌觀察及納米級(jí)檢測(cè)（SEM），電子束束流滿足Min.小于等于1pA； 2）用于實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品進(jìn)行離子束切割加
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項(xiàng)目名稱：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室 2023年第二批科研設(shè)備采購項(xiàng)目
項(xiàng)目編號(hào)：1495-234thhrlab02/03
招標(biāo)范圍：產(chǎn)品名稱：聚焦離子束電子束雙束顯微鏡 數(shù)量：1臺(tái) 簡要技術(shù)規(guī)格：聚焦離子束電子束雙束顯微鏡(FIB-SEM)是一種半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備，具體規(guī)格如下： 1)用于晶圓上各項(xiàng)工藝后的形貌觀察及納米級(jí)檢測(cè)(SEM)，電子束束流滿足Min.小于等于1pA； 2)用于實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品進(jìn)行離子束切割加工功能(FIB)，離子束束流滿足Min.小于等于1pA； 3)用于實(shí)現(xiàn)三維形貌觀察分析； 4)用于實(shí)現(xiàn)電路修復(fù)； 5)用于實(shí)現(xiàn)EDS及EBIC功能； 6)適用于6英寸及以下晶圓。
招標(biāo)機(jī)構(gòu)：天恒招標(biāo)有限公司
招標(biāo)人：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室
開標(biāo)時(shí)間：2023-06-08 09:30
公示時(shí)間：2023-06-12 18:18 - 2023-06-15 23:59
中標(biāo)結(jié)果公告時(shí)間：2023-06-16 11:08
中標(biāo)人：恒裕通有限公司
制造商：Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o/Bruker Nano GmbH/point electronic GmbH
制造商國家或地區(qū)：捷克
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