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發(fā)展半導(dǎo)體材料 突破核心技術(shù)外還需加強(qiáng)檢測(cè)能力
2021年03月03日 08:34:13 來(lái)源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：5941

半導(dǎo)體材料對(duì)終芯片成品的性能影響很大。因此發(fā)展半導(dǎo)體材料行業(yè)不僅要實(shí)現(xiàn)技術(shù)上的突破，實(shí)現(xiàn)材料國(guó)產(chǎn)化，還要保障材料的純度、穩(wěn)定性、功能等，使其能滿(mǎn)足半導(dǎo)體生產(chǎn)的要求。這需要半導(dǎo)體材料檢測(cè)技術(shù)與半導(dǎo)體生產(chǎn)需求的同步。

　　【化工儀器網(wǎng) 行業(yè)動(dòng)態(tài)】半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是當(dāng)前科技創(chuàng)新的核心之一，在世界經(jīng)濟(jì)與科技發(fā)展中的地位越來(lái)越重要。自中美貿(mào)易戰(zhàn)打響以來(lái)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成為限制我國(guó)的重要手段，因此越來(lái)越受?chē)?guó)家重視。為了避免再次在關(guān)鍵核心技術(shù)上被“卡脖子”，我國(guó)開(kāi)始大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。而半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，推動(dòng)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展有著重要意義。
 
　　近年來(lái)，我國(guó)出臺(tái)了多項(xiàng)相關(guān)政策支持和鼓勵(lì)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料行業(yè)發(fā)展。例如2020年8月4日，國(guó)務(wù)院發(fā)布新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》，首次明確提出鼓勵(lì)我國(guó)本土半導(dǎo)體材料和裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并且還通過(guò)財(cái)政稅收、投融資等政策改善半導(dǎo)體材料企業(yè)經(jīng)營(yíng)環(huán)境，為半導(dǎo)體材料行業(yè)發(fā)展提供支持。
 
　　同時(shí)產(chǎn)業(yè)基金和資本也在為我過(guò)半導(dǎo)體材料行業(yè)的發(fā)展提供有效支持。從2014年9月國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(大基金)成立開(kāi)始，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈獲得了大量投資。2019年國(guó)家大基金二期成立后更是將主要投資向半導(dǎo)體材料領(lǐng)域傾斜。
 
　　雖然目前我國(guó)半導(dǎo)體材料依然主要依賴(lài)于向美國(guó)、韓國(guó)、日本等國(guó)進(jìn)口，但是在半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化上已經(jīng)有了較大進(jìn)步，實(shí)現(xiàn)了部分半導(dǎo)體材料的自主研發(fā)和生產(chǎn)，同時(shí)也成功研發(fā)出濺射靶材、引線框架等上百種材料產(chǎn)品，部分產(chǎn)品的性能甚至能達(dá)到先進(jìn)水平。
 
　　半導(dǎo)體材料種類(lèi)繁多，在半導(dǎo)體生產(chǎn)的流程中，需要根據(jù)生產(chǎn)工藝選用不同的半導(dǎo)體材料。如在晶圓制造工藝中需要用到硅片、電子特氣、光掩模版、拋光材料等，在在封裝測(cè)試中，則主要需要封裝基板、引線框架等材料。
 
　　半導(dǎo)體材料對(duì)終芯片成品的性能影響很大。因此發(fā)展半導(dǎo)體材料行業(yè)不僅要實(shí)現(xiàn)技術(shù)上的突破，實(shí)現(xiàn)材料國(guó)產(chǎn)化，還要保障材料的純度、穩(wěn)定性、功能等，使其能滿(mǎn)足半導(dǎo)體生產(chǎn)的要求。這需要半導(dǎo)體材料檢測(cè)技術(shù)與半導(dǎo)體生產(chǎn)需求的同步。此外，在半導(dǎo)體材料技術(shù)取得突破的時(shí)候，我們也需要相應(yīng)的檢測(cè)技術(shù)驗(yàn)證成果是否可行，這對(duì)半導(dǎo)體材料檢測(cè)技術(shù)同樣是一次挑戰(zhàn)。
 
　　半導(dǎo)體材料檢測(cè)涉及的項(xiàng)目很多，如摻雜濃度、表面缺陷、膜的厚度等。目前用于半導(dǎo)體檢測(cè)的儀器與主要有：掃描電鏡、透射電鏡、X射線衍射儀、原子吸收光譜儀、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀、離子探針、電子探針等。在檢測(cè)設(shè)備方面，我國(guó)對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的依賴(lài)性同樣很大。在推進(jìn)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)的同時(shí)，我們同樣需要注意半導(dǎo)體材料檢測(cè)技術(shù)和設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化。
 
　　我國(guó)擁有龐大的半導(dǎo)體市場(chǎng)，并且芯片設(shè)計(jì)水平第二。然而芯片制造卻始終是我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的限制因素，半導(dǎo)體材料依賴(lài)進(jìn)口已經(jīng)在威脅我國(guó)科技的發(fā)展。在美國(guó)政府重點(diǎn)打壓我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制造環(huán)節(jié)后，半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化已經(jīng)成為目前我國(guó)的重點(diǎn)任務(wù)。在此背景下，隨著國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體檢測(cè)行業(yè)同樣也需要隨之發(fā)展。
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