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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
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產(chǎn)品簡介
SEM納米壓痕儀，能夠提供在光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡下，實時表征和觀察微/納米尺度材料機械力學(xué)性能。通過高分辨率的力傳感器、位移傳感器以及自動控制方法，可記錄力學(xué)性能表征測試過程中，材料表面被壓入的深度和負載數(shù)據(jù)，形成力-位移曲線。
SEM納米壓痕儀特性
高精度力和位移測量
多種力傳感器和形狀應(yīng)對多種機械特性材料
兼容各類主流光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡
產(chǎn)品應(yīng)用
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| 納米壓痕測試 | 拉伸和壓縮測試 | 納米操縱與裝配 |
規(guī)格參數(shù)
| 力傳感器 | Sensor A | 測量分辨率 | 1 nN |
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| 測量范圍 | +/- 50 uN | ||
| jian端 | AFM硅探頭 | ||
| Sensor B | 測量分辨率 | 1 uN | |
| 測量范圍 | +/- 20 mN | ||
| jian端 | 金剛石jian端；可定制化jian端 | ||
| Sensor C | 測量分辨率 | 10 uN | |
| 測量范圍 | +/- 500 mN | ||
| jian端 | 金剛石jian端；可定制化jian端 | ||
| 樣品臺 | 標準模塊 | 運動平臺 | XYZ |
| 運動范圍 | 10x10x10 mm | ||
| 運動分辨率 | 1 nm | ||
| 編碼器分辨率 | 2 nm | ||
| 壓痕臺 | 標準模塊 | 位移范圍 | 8 um |
| 位移分辨率 | 0.02 nm | ||
| 本底噪聲 | 0.2 nm |
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